SiBrickScan
的特性
硅砖扫描分析器(SBS)
SiBrickScan (SBS) est un système dédié«at-line»pour la quantification IRTF d 'oxygène interstitiel dans des lingots de silicium complets, résultant en un proffil de concentration le long de l 'axe纵向。L'accès à cesinformation sans avoir à scier de plaquettes d ' échantillons d ' essai est unmajeur permettant de faire des économies。
Obtenir de précieuses信息倒contrôler et optimiser la qualité du product
Le fait de connaître Le gradient en oxygène des lingots de Si permet de tirer d'importantes结论，p. exl . pour contrôler和优化器de stallallation de silicium ou pour identifier de mauvaise matière première。C 'est la raison pour laquelle SBS contribuera à faire des économies en optimisant la qualité du product et en réduisant la quantité de plquettes défectueuses。L'échantillonnage aléatoire de lingots individuels réduit forement le temps de préparation des échantillons et permet d' obaucoup de information permet d' obaucoup + tôt。
Sensibilité最大光谱IRTF dernier cri
La量化de l 'oxygène间质光谱IRTF (ASTM/SEMI 1188) est une méthode d'分析重要的联系limitée aux细粒分级d' échantillon de Si ne测量que quelques mm。
SiBrickScan (SBS) dépasse主要限制条件système complètement dédié可弃的商业倾倒déterminer梯度d'oxygène所有的语言都有很长的时间，主要的没有固定的时间，安全的时间préparation破坏定义的缺陷d' échantillon。
SBS利用智能une harmonique de band d'吸收infrarouge通信combinée à une技术IRTF可测量et de pointe de Bruker。
应用程序
应用程序
量化de l 'oxygène interstitiel sans préparation d ' échantillons绞肉
BrickScan永久分析仪l 'oxygène硅柱间质块à 500毫米。Ces précieuses信息渗透优化le晶体化过程，以先驱者个人语言为标准。
Étalonnage de haute qualité指导lié à ASTM/半1188
L'évaluation de L 'oxygène SBS利用un étalonnage qui est指示lié à/dérivé d ' astm /SEMI 1188。Étant donné que la corrélation des deux méthodes est准parfaite, la浓度d'oxygène间质est évaluée avec une grande précision。
Sensibilité maximale de détection avec SBS
En function des propriétés et de la formme de l ' échantillon (p. ex. résistance) SBS peut atteindre des limited de détection de l 'oxygène间质< 2 ppma (< 1017/厘米3.）.
Si vous êtes intéressé par des measurement de test de faisabilité， veuillez接触器votre représentant Bruker régional。
规范
规范
版本SBS dédiées pour différents类型de lingots
SBS est一次性倒香油PV carrés标准单晶或多晶(coupe横向de ~156 x 156毫米2) ainsi que des lingots cylinder de Si, par example d’un diamètre de ~150 mm(6”)ou ~200 mm(8”)。Des systèmes pour d ' aures diamètres et formes peuvent être disponibles sur demand。
设计坚固和兼容的倾倒工业
Un entraînement linéaire précis et rouste contrôle automatiquement la position de mesure du lingot: en function de la configuration et du type de lingot, une résolution d 'oxygène spatiale de ~12 mm peut être obtenue le long de l 'axe du lingot。
Des mécanismes de verrouillage fiables et sûrs独家le risque que l 'opérateur entre en contact avec Des pièces en movement。
界面逻辑，直观，使用简单
SiBrickScan (SBS) compcompune界面utilisateur graphique直观dédiée optimisée pour l '环境工业。Pour les employés de production normaux, la procédure de functional standard peut être apprise en quelques minutes: il suffit de charger le lingot, de choisir la recette d'analyse désirée et de commencer la meure。La测量à系统自动化，y组成l ' évaluation des données。
Trajet optique de haute sensibilité innovant avec un échantillon de référence intégré
Un trajet optique infrarouge创新独特的garantit une sensibilité de mesure maximale。Un échantillon de référence de grande qualité est déjà comppris dans l'instrument et la measurement de référence se fait automatiquement。
选项détecteur selon les exigences des clients
SBS est disponible avec un détecteur refroidi“effet Stirling”，功能性无液态氮。
En选项，SiBrickScan peut également être proposé avec un détecteur refroidi à液体偶氮和相应的自动再打印处置。
加上标签
信息complémentaire sur l'analyseur de Silicium
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