SIRIUS-RF
第四代系统提供行业标准的可靠性
半标准遵从性
做marquants
Sirius-RF
Sirius-RF是第四代系统在一个成熟的平台,提供行业标准的可靠性、易用性、工厂自动化、和半标准遵从性。
会聚束
XRR
提供快速、第一原则厚度和密度测量刻线
双重来源
µXRF配置
提供灵活性和最佳性能各种层/设备
堆栈
测量能力
成分和厚度测量计量设备内置垫或直接以非破坏性的方式
的特性
Sirius-RF特性
- 快速收敛束XRR,第一原则刻线厚度和密度的测量
- 双重来源µXRF配置灵活性和最佳性能各种层/设备
- 高级内存(DRAM、极化、3 d-nand MRAM)、逻辑、电力设备和包装
- 成分和厚度测量
- 在计量设备内置垫或直接(非破坏性的方式)
- 堆栈测量能力
应用程序
应用实例:极化
- 内存元素的组成和厚度(GeSbTe -销售税)和双向阈值开关(OTS GeAsSe)是至关重要的参数
- Sirius-RFµXRF允许内联组成监测计量垫或设备领域
- 快速收敛束XRR允许厚度在1 - 2秒每点测量。
支持
支持
我们如何帮助?
力量合作伙伴与客户解决实际应用问题。我们开发新一代技术,帮助客户选择合适的系统及配件。这种伙伴关系继续通过培训和扩展服务,很久以后销售的工具。
我们的训练有素的团队的支持工程师,科学家和应用主题专家是完全致力于最大化工作效率与系统服务和升级,以及应用程序的支持和培训。