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光谱椭圆光度法是一种强大的光学反射率测量技术用于确定膜厚度和薄膜的光学和其他相关特性。它展示了更好的灵敏度比其他偏振相关光学技术,特别是膜厚度和均匀性,可以提供方便地访问信息绝不可行派生其他反射测量方法。最值得注意的是,考虑到理想的操作和工艺条件,光谱椭圆光度法可以提供更准确的膜厚度测量薄胶片样品比其他任何已知的技术。
我们的光谱椭圆对称系统基于最著名的技术设计和整合先进和FilmTek专利技术。而典型的可测量的厚度范围的光谱反射计范围从几十到几百纳米,FilmTek光谱椭圆对称系统可以测量膜层厚度小于一埃在不影响测量精度和可重复性。
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联系我们获取更多信息关于我们的椭圆计或其他薄膜计量工具,或与椭圆光度法专家讨论你独特的测量要求。
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