Dektak XTL
具有量具功能的QA/QC分析器，可实现最佳300mm性能
做marquants
Dektak XTL
Dektak XTL™触控笔轮廓仪可容纳样品高达350mm x 350mm，带来传奇的Dektak®大尺寸晶圆和面板制造的可重复性和再现性。Dektak XTL具有气动隔振和全封闭工作站，具有易于访问的联锁门，使其成为当今要求苛刻的生产车间环境的理想选择。它的双摄像头架构增强了空间感知能力，其高水平的自动化最大限度地提高了生产吞吐量。
健壮的
自动化设置和操作
程序基准和无限的测量地点，以最大限度地提高吞吐量和减少错误。
双
相机控制
简化测量设置和导航到感兴趣的点更快。
容易
分析和数据收集
自动分析例程和报告只需要复杂样品的特性。
的特性
业界最好的自动化和分析软件
增强的软件功能使Dektak XTL最强大，最易于使用的手写笔分析器可用。该系统利用Vision64软件，可实现无限测量点，3D绘图，以及数百种内置分析工具的高度定制特性。Vision Microform软件还可以测量形状，比如曲率半径。模式识别最大限度地减少了操作误差，提高了测量定位精度。一体化软件包将数据收集和分析与直观的工作流程相结合。
Vision64生产接口。
无与伦比的手写笔技术
操作人员将300mm晶圆片装入Dektak XTL。
Dektak XTL建立在超过50年的手写笔专业知识和生产设施的应用定制之上，以满足当今和未来严格的行业路线图。300毫米，高精度编码XY分期为制造商提供了可靠的工具，以满足严格的仪表R&R要求。Dektak的双摄像头控制与高倍率双视图摄像头提供增强的空间意识。实时视频中的点击定位允许操作员快速将样品放置在正确的位置，以便快速简便地进行测量设置和自动化编程。该系统的大型联锁门为样品装载/卸载提供了安全方便的访问。
其他硬件特性包括:
- 单拱结构和集成隔振，性能领先业界
- 快速更换自对准笔
- 高精度编码的XY阶段，更快的自动数据收集
- N-Lite低力软触技术和1mm测量范围可同时用于测量精细和高垂直范围的样品