膜厚度的决心

表面功能化和改性超薄电影扮演重要的角色在许多应用领域,如生物淤积,sensorics,腐蚀保护,催化等。这使得此类电影强制性的彻底调查,理解和提高膜生长和功能。有许多方法来使用红外光谱化学识别电影和涂料。

透光率、衰减全反射(ATR),时时刻刻角反射(GIR)或红外反射吸收光谱(IRRAS)、偏振调制IRRAS (PMIRRAS)。根据膜厚度,光学性质和支持基质不同的测量模式(s)可以优先应用。

作为x射线可以通过问题,x射线荧光(光谱仪)允许层厚度的测定。使用在SEM micro-XRF层分析(厚度和组成)呈现可行的微米尺度的空间分辨率。使用原子层基于量化分析是强烈的基本参数(FP)。它可以提高使用标准样品,所以各种类型的层系统可以接受《外交政策》的调查,如金属化晶片,julian预处理涂料和太阳能电池。阅读更多

所有材料雷竞技网页版展览全反射x射线事件低于某个临界角度,给予直接光束反射强度那么大。随着入射角的增加在测量x射线反射计(XRR),渗透到材料导致反射强度急剧下降。因此XRR数据可以跨许多数量级。XRR是一种快速、无损的方法测量厚度、粗糙度和薄膜涂层密度、多层膜、超晶格。此信息可以从镜面中提取干涉图样,并允许表征结晶和无定形的电影。

基于特征的氮化镓(GaN)的材料通常使用非破坏性射线计量。雷竞技网页版宽禁带半导体的主要类,GaN及其在/ Al利用等效基质等许多新设备的高电子迁移率晶体管(HEMTs),发光二极管(led),激光二极管,和太阳能薄膜外延层的形式,从几纳米到微米。设备性能是经常与叠层顺序、层厚度、晶体结构、化学成分。这些属性可以使用高分辨率x射线衍射研究(HRXRD)技术和x射线反射率(XRR)一样,倒易空间映射(RSM)和高分辨率的摇摆曲线(RC)。