半导体和纳米技术

先进功率(GaN & SiC)

先进的能力

Bruker HRXRD / XRR系统是表征先进功率系统(如GaN on Si和SiC)的首选系统。它们被用于世界各地的生产线，用于测量薄膜厚度、成分和质量，以确保布鲁克客户的高产量。

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先进的能力

氮化镓硅功率器件计量

一套完整的计量系统已经开发用于GaN on Si应用。

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先进的能力

Sic Defectivity

x射线衍射成像(XRDI，也称为x射线地形学)和micro-XRF用于成像和可视化在其他完美(或接近完美)基材中的晶体缺陷。

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