晶体缺陷在硅基质
XRDI
x射线衍射成像
x射线衍射成像(XRDI,也被称为x射线地形)用于图像完美晶体缺陷否则基质(或接近完美)。在Si衬底制造、成像的锭幻灯片没有样品制备,甚至在镜面蚀刻或直接研磨后,执行。从钢锭缺陷地图可以显示的位置议会开始切片好晶片。不需要样品腐蚀,这可以减少有害腐蚀酸用于生产环境。
即时反馈到生产
XRDI也可以用来识别任何裂缝或滑晶片边缘处理后,添加迷你环境和边缘控制样品处理允许执行最终检查产品质量。
的完全自动化特性QCTT工具允许缺陷地图自动提取并报告通过秒/宝石瞬时反馈到生产系统。
Micro-XRF
Micro-XRF
在大的晶体,大多数缺陷和晶格常数的变化和/或晶体取向的变化。这些变化将导致变异在布拉格峰micro-XRF频谱。他们可以映射在大面积由于力量的micro-XRF解决方案。
使用能量色散micro-XRF快水晶域映射
在能量色散光谱仪,布喇格衍射峰是通常被认为是一个让人头疼的工件干扰荧光信息。然而,这些布拉格峰,因为它们是相关的晶体取向,提供额外的信息样本的性质。在这里,我们描述如何M4龙卷风可以利用可视化晶体领域。这些信息对评估的质量是至关重要的单晶和多晶材料的属性。雷竞技网页版这一原则可以用来识别sub-grain错位在单晶以及微晶尺寸multi-crystalline样本。
读这个相关的出版物:
