浅薄硅
浅杂质像波龙和磷等杂质只需要微小能量电离解释FT-IR使用分析
FT-IR分析Si浅色杂质BP
FTIR分析高度敏感并免销毁检测硅浅杂质并因此成为普遍接受的Si质量控制方法布鲁克拥有数十年该领域经验,提供最强和最新解决方案
使用CryosAS低温si分析器
- 优化工业环境操作高敏感低温Si分析而无需低温液
- 完全自动化测量周期和数据评价符合ASTM/SEMI标准,包括生成报表
- 三维杂质量化单晶度Si到低ppta范围
- 同步量化碳和Oxygen
FT-IR光谱仪使用
低温NIR光照量化浅杂质B,P)单晶硅根据ASTM/SEMIMF1389检测限值小于1ppta可用液态He冷冻器或免冷凝脉冲冷凝器