Nanoindentation机械性能测量是一种广泛使用的技术在小尺度,包括电影和涂料。这里,测量工具涂料的技术详细彻底的从开始到结束。使用这些PVD和CVD涂层为例,结合之间找到一个平衡粗糙度的要求,厚度,非凡的硬度。
需要考虑的因素有很多关于如何nanoindentation技术应立即执行不理解的入门用户。从一开始,硬度和模量的测量提出了一个简单的底物。然而,真正测量样本很少匹配这个理想。偏离这一理想然后介绍了通过测量样本有限的粗糙度和涂层厚度。从本质上讲,这些并发症是冲突的增加测量深度将降低粗糙度的影响,但会逐渐给混合反应涂层和底层工具衬底。因此,选择最佳深度是涂料的重要获得准确的测量工具。结果四种不同商用氮化硅涂层。
Jungkyu Lee博士。
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