STEM内置ARGUS成像系统

ARGUS全视神迹返回

仿佛前身Objectimus2检测器头设计内置Argus公司TM向STEM提供SEM成像能力系统。Si二极管前端3Si二极管和二极管中心1Si二极管2提供

  • 黑域相似成像
  • BrightField类成像时置TKD映射位置
  • 以125,000像素/sec速度映射
  • 全自动信号优化生成质量和细节不等图像

新型BF成像能力对映射中漂移校正和动态实验中样本近实时可视化特别有用,如现场抗拉测试、加热和电偏向电子透明样本

2.8Mpixel相似DF图像(左侧)缩放20NM金膜高亮面积图像用探测流800pA和加速电压30kV获取66秒主图像缩放视图栏表示400纳米和50纳米