赋能纳米级TKD映射/UHR某些FE-SEM模式
所有细节都见纳诺结构化样本
最近大规模采用纳米技术触发了扫描电子显微镜中最高分辨率竞赛实现最终空间解析的一个方法使用磁性解析镜头前情提要 沉浸透镜无法定位映射这是因为透镜生成磁场干扰传输Kikuchi模式采集分析过程干扰有两个主要构件:
- 散落电子在SEM光轴周围狭窄空间内受约束(见TKP下方字段)。
- 基库奇模式被磁场扭曲、旋转和移位
第一,基库奇信号从SEM光轴放大至10毫米光轴对电子进行封存意味着极少散置电子会达标EBSD检测器通常将其磷屏距离SEM光轴大于15毫米上轴TKD技术启动Objectimus2通过从SEM光轴周围捕捉Kikuchi模式来解决这个问题
第二,磁场在TKPs中的存在所造成的重反射使得无法检测精度波段校正扭曲并补偿TKs旋转和移位,我们开发出新软件特征(专用权待定),称为ESPRITFILTKD特征易校准并完全融入自定义地图获取过程ESPRIT2软件化
FILTKD特征和上轴TKD组合使用高端FE-SEMs操作超高分辨率模式即浸透镜激活
微博ikuchi模式
微博ib:TKPfig.1(左侧)校正后使用FIL-TKD
微博1c:对比Fig.1(center)-TKP从相同粒子获取但没有磁场,即沉浸镜不活动
HW和SW选项独特组合的最终结果或收益可见诸于Fig显示的TKD结果中2(*).模式质量地图(左侧)定性显示,启动浸透镜时物理空间分辨率要高得多(多锐化特征)。粒子/特性优于10纳米可清晰地从浸透镜作用进取的定向图中看到
微博2:原轴TKD地图同一区域从20NMAU薄膜获取而无磁场a分析模式(顶端)并带磁场a超高分辨率模式(底部)这两张地图均使用相同的参数获取电流检测加速电压检测器设置和3nm阶梯尺寸缩放栏表示100纳米未对定向地图应用数据清洗结果由丹麦DTU Nanolab的Alice Da Silva Fanta提供
此处介绍的结果应定性化,而不是解析TKCD解决方案和/或某种SEM牌TKD地图解析和索引化质量差异视模型和/或造物以及室环境而变化,例如沉浸式和非沉浸式模式温度、地面振荡声学等