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显微xrf的一个关键优点是对样品制备的最低要求。然而,必须为测量定义一个分析平面。许多样品不是完美的平面,也不能被改变(即重要的历史博物馆文物)。对于具有地形的样品的定性分析(例如地图或线扫描),部分表面将在焦平面之外。光圈管理系统(AMS)旨在增加景深。就像光学成像一样——但原因非常不同——镜头前的光圈可以增加景深。因此,即使是高地形的样品,大多数结构仍然聚焦,即在焦平面内。