CryoSAS

CryoSAS将布鲁克公司的高性能FT-IR光谱仪与内置的闭式循环冷冻冷却技术相结合，不需要任何液氦。所有CryoSAS组件都是最先进的，利用成熟的技术，在苛刻的硅生产环境中完成困难的分析。CryoSAS可以在高水平的自动化操作，包括准确报告分析结果。

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功能包括:

灵敏度高:

根据ASTM/SEMI MF1630标准，CryoSAS分析浅杂质(如硼，磷等)至低ppta水平。此外，它同时分析碳和氧到低ppba水平，根据ASTM/SEMI MF1391标准。

闭式循环低温制冷系统:不需要昂贵的液体低温

高可靠的闭式循环冷冻冷却系统，用于探测器和样品室的冷却。与液氦冷却制冷系统相比，密闭循环系统每年可节省5万欧元的运行成本，甚至更多。

不锈钢样品室设计:
轻松获取样品

经过验证的样品室设计与固定光学和自动样品头。大内径的样品室允许方便的样品持有人访问。

干前泵和涡轮泵:
真空系统操作简单、清洁

通过涡轮泵和干式前泵快速可靠的排气。

稳健，精密步进电机阶段与九个位置样品架:

坚固的翻译阶段接口到样品持有人允许多个样品分析。高扭矩电机和固体平移机构提供精确的样品分度和多年的可靠功能。样品易于安装和拆卸，样品架几乎毫不费力地安装在样品室中。样品架采用OFHC镀金铜设计，确保温度均匀。

易用性:

CryoSAS针对工业环境下的操作进行了优化。所有真空和制冷装置由PLC控制。冷却和开始测量是一个简单的按钮操作。用户不必是光谱学专家或真空专家。

专用的CryoSAS软件旨在满足工业质量控制的需求。使用简单，可通过触摸屏操作。用户只需选择所需的分析方法，输入样本信息并按下开始按钮。然后，CryoSAS将自动冷却样品，开始红外测量，评估结果并创建分析报告。

规范

光谱范围:1500 - 280厘米^－1优化的检测

• III、V类浅杂质根据ASTM/SEMI MF1630的单晶Si。对于厚度约为。
  3毫米时，可达到以下检出限:
  - 10 ppta磷
  - 30 ppta硼
• 置换碳根据ASTM/SEMI
  MF1391。该方法需要无碳FZ参考样品，其厚度和表面性能与样品试样相当。对于厚度约为。3毫米，可检测到碳浓度低至20 ppba。