椭圆计和反射计

布鲁克的广泛的FilmTek™产品线具有独家和专利技术，可用于执行光谱椭圆测量和反射测量，多角度反射测量和反射透射分光光度法，与同类仪器相比，可以对更多薄膜类型和厚度进行更精确和可重复的测量。这些仪器专为高效的按钮式操作而设计，使用户能够快速、准确、无损地测量薄膜厚度和折射率，以及结构的关键尺寸和基片的总厚度变化，覆盖范围广泛的单层和多层薄膜，层厚从超薄(低至<1 Å)到极厚(高达350 μm)。可测量的样品包括几乎任何衬底上的金属、半导体、非晶、晶体和介电材料。雷竞技网页版

FilmTek椭偏仪和反射仪系统可提供各种标准和可定制配置，从手动台式仪器到全自动生产线就绪模型。其中包括单技术和多模式系统，它们结合了我们的核心技术，并通过额外的技术集成增强其能力。这些计量工具安装在世界顶级的开发实验室和工业生产车间，具有最高的精度和折射率分辨率，适用于许多厚、薄和多层薄膜应用，这是其他计量系统无法实现的，适用于从学术研究和研发到受控环境下的大批量制造等设置。