PCRAM的厚度和组成

非常适合监测相变存储器和其他新兴存储器，这些存储器是复杂的，多元素结构的堆栈，力量的Sirius-RF该工具结合了堆叠中单个层的x射线反射率(XRR)厚度测量和多源μ XRF，用于确定焊盘和电池面积的成分和厚度。

例如，该系统用于测量记忆元件(GeSbTe - GST)和Ovonic阈值开关(OTS, GeAsSe)的组成和厚度，这两个都是关键参数。

Sirius-RFµXRF允许在计量板或设备区域进行在线成分监测。快速收敛光束XRR允许厚度测量在1-2秒每点。

了解薄膜材料的相变行为对PCRAM器件的发展至关重要。雷竞技网页版
非环境x射线衍射可以精确测定晶体相和晶格参数作为温度的函数。
此外，x射线反射法是测定非晶GST薄膜厚度最准确的非破坏性方法。

布鲁克实验室衍射溶液，D8发现和D8提前，是强大的XRD工具，支持PCRAM器件的研究和开发。