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多晶片相位对性能至关重要XRD是成熟技术 能够测量PZT 和其他多晶片通过使用JVX7300L,PZT胶片晶体性可自动测定并映射到基底上以监测生长过程
JVX7300L还拥有可选XRF通道,可在同一工具上绘制PZT组成图,提高生产率和产量
JVX数列工具带SECS-GEM并自动报告为标准,快速反馈关键进程信息
多晶卷陶瓷薄膜性能像铅合金(PZT)由晶相和微结构决定,这些关键参数可以通过X射线分片访问XRD是极强非损分析技术,用于多晶片和粉末的相片识别、量化和微结构分析8分解并D8升级即Bruker实验室分片解析法综合最大火药分片性能和易用性能完全适合薄多晶片特征研究、过程开发与生产控制