半导体钝化层发挥重要作用并发挥例如作用保护电子隔离或反射层BrukerFT-IR研究分光计是快速、敏感和非损耗分析这些消能层的理想工具
各种样本/浮控器可供传输、反射或ATR测量模式调查不同厚度消能层
E.g.和磷玻璃和光玻璃可使用适当的标定法在IR区中用传输测量量化并定性
ft-IR光谱计研究序列专用瓦斐映射配件允许在不同样本位置自动获取反射光谱
它能表现例如层厚评价并量化分析BPSG层,QC完全接受雷竞技怎么下载即使是超薄层,如SIN等离子层、超低k层或单晶硅自组单分子层,也可以通过Bruker创新 wiferATR从属性高敏度分析。想了解更多吗?