布鲁克州ESPRITソフトウェアのイメージ拡張機能を使用して、薄膜全体（28mm x 48mm）の元素分布マップを数分または数秒でSEM#EDSによって取得することができます。多くの場合、このような概要分析は、サンプル内の元素分布を十分視覚化することができます。図1は、2048μsからわずか4μsの範囲で、ピクセル当たりのドウェル時間が異なる一連のマップを示しています。この結果により、フレームあたり数秒の取得時間が、主要な元素分布を識別しサンプル内の主要なフェーズとテクスチャを識別するのに、十分な時間であることを示しています。
