このアプリケーション例は、高速EDS元素マッピングによりジルコニウムとステンレスの溶接部の微細構造を短時間で分析できることを示しています。これらのEDSマップはX線強度を上げるために大ビーム電流条件でXFlash应用®7++を使用して測定されました。
このマップデータは入力カウントレート 2 Mcps以上、出力カウントレート 900 kcps以上で測定されました。高カウントレートでのCr、Fe、Zrの元素マップにより、溶接部でのCrの段階的な拡散、Fe層の形成、金属間化合物や共晶の存在などの複雑な構造が可視化されています。高倍率でのマッピングでは、この試料と励起条件での理論的な限界に近い空間分解能で元素分布が確認できます。