ブルカーのXFlash®7 EDS 検出器は大きな検出立体角と高性能パルスプロセッサを備え、最大1000 kcpsの出力カウントレートでライブ元素マッピングが可能です。
ESPRIT LiveMapは、金属間化合物、コンタミネーション、界面領域、微量元素などの観察対象領域の決定が必要となるさまざまなアプリケーションで利用可能です。自動元素同定や重なり合うピークのデコンボリューションなどの機能はライブマップ中でも利用可能です。
この例ではAl-Si合金に液相拡散接合 (TLP)されたSn-Cu中間層のライブEDS元素マッピングを示します。複数の層が複雑に分布する様子が確認できます。最も上の層はAl-Si合金で最も下の層はSn-Cu接合部です。Crのコンタミネーションは自動で認識され、マップデータに追加されます。ESPRIT LiveMapがSn-Cu接合部のコンタミネーション部分の特定に利用できることがわかります。
ESPRIT LiveMapの特徴