μxrfとsemの組み合わせにより,センチメートル(cm)からミリメートル(mm)からマイクロメートル(μm)以下の複数のスケールでサンプルを分析することができます。したがって,μ光谱仪をSEMに追加することによって,デュアルソースシステムにアップグレードされます。これは,電子ビ,ムと光子ビ,ムの2の励起源があることを意味します。いずれのソースも,個別にまたは同時に,同じEDS検出器を使用して測定されるサンプルX線を生成します。さらに,各分析手法の利点を利用することができます:(i)光谱仪源のバックグラウンドは非常に低いため,10 ppmまでの元素濃度(元素およびマトリックスに依存)を観察することができ,情報の深さがはるかに大きくなります。まり,サンプル表面の下にある構造や元素を見ることができます。例えば,非常に低濃度であっても,表面の下にある包含物を検出することができます。(ii)電子ビ、ムを極めて小さい領域に集中し、非常に高分解能情報を生成することができる。
このような組み合わせにより,単一のシステム内に新しいワ,クフロ,を作成できるようになりました。例えば,μ光谱仪を使用して,大きな岩石サンプル(この場合はカランガハケエピサーマル鉱床からの盟含有サンプル)を素早くスキャンすることができます。これにより,Au含有粒子を含む対象領域の識別が可能になります(図1および2)。その後,電子ビームを用いて,これらの“対象領域”をはるかに高い解像度で解析することが可能になります(図3)。したがって,このデュアルビームシステムは,大きなスケール(cm ~毫米)で関連情報を同時に識別できるため,詳細な小さなスケール(毫米~μm)での測定を効率的かつ正確に測定することが可能です。