ダイヤモンドを含んだニューランズキンバリー岩(南アフリカ,カープバールクラトン)のガーネットやスピネルを含むかんらん岩のSEM-XRF元素マップを示します。様々な元素の強度は,サンプルに存在する特定の鉱物を示しています。例えば,Ca(緑)——単斜輝石;Cr(青)——クロマイト;Al(黄色)-ガーネット,交代作用のためのK(オレンジ)です。薄片は, sem上のμxrfを使用して分析されました。サンプルは約3cm x 2cmで,単一フレ,ムとして分析されました。各ピクセルの完全なスペクトルにより,要素の追加,マップからのスペクトル抽出,マップの定量化,自動位相などのオフライン処理が可能になります。
μ光谱仪のデータは,サンプル内の微量元素だけでなく,高エネルギーX線も識別できるという利点があります。μXRFは電子ビムよりも大きいものの,小さなスポット分析(約35μm)になります。相互作用の体積は,電子ビ,ムの体積よりもはるかに大きく,元素とサンプルのマトリックスに依存します。その結果,2 d要素マップは,電子ビームとX線で生成されたマップの間に違いをもたらす可能性があります。より低いスペクトルのバックグラウンドにより,電子ビ,ムでは不可能な微量元素の検出が可能になります。サンプルの前処理の要件は異なります。例えば,帯電効果がないため,サンプルコ,ティングを行う必要はありません。さらに,深い位置の情報を取得するため,高品質な研磨は必要ありません。荒いサンプルでも平面を有する限り,分析することができます。定量は,スタンダ,ドまたはスタンダ,ドレスで実施することができます。