Sem μxrfによる薄膜分析
明x線が物質を通過するため，蛍光x線(xrf)により層厚の決定が可能です。扫描电镜上のμ光谱仪を使用して,マイクロメートルスケールの空間分解能で,レイヤー解析(厚さおよび組成)が実現可能です。レヤ解析は，ファンダメンタルパラメタ(fp)を使用した定量に基づいています。標準サンプルを使用することで改善できるため,ウェハ上のめっき,多金属の前処理コーティング,太陽電池など,さまざまな種類の層構造をFPで調査することができます。標準サンプルが利用可能な場合，それらを使用して精度を高めることができます。ただし，fpは標準サンプルを必要としないため，r&d環境における新しい層構造もテストできます。太陽電池(図1)などの層構造は，多くの産業において重要です。
図1:太陽電池の薄膜分析例。ほとんどの場合,吸収体は香烟構造(Cu-In-Ga-SeまたはCu-In-Ga-S化合物)から生成されます。CIGS太陽電池は通常，Mo層でコ，ティングされたガラス基板上に堆積することで製造されます。断面モードでレイヤーを測定する従来の膜厚分析と比較して,XTraceはSEMを使用して平面上で直接サンプルを測定します。これはサンプルの準備を必要としない，高速で非破壊的な手法です。
図2:太陽電池のμ光谱仪スペクトルは,試料表面から2μm下に位置する莫を含め,異なる深さからのすべての関連する元素線を示しています。なお,光谱仪線源を使用することで容易に励起できる高エネルギーZ元素線(例えばMo-Kおよび在k)に注意してください。X線励起の深さが深いほど材料内部を深く見ることができ,1纳米から最大40μmまでの比較的厚い層や多層構造の特性評価を可能にします。さらに，cigs構造の組成も決定されます。このサンプルは，スタンダ，ドレスの基本パラメ，タ，を使用して分析しました。精度を高めるためにスタンダ，ドを適用することも可能です。
