多層膜試料の層厚や化学組成は,MLplusで簡単に解析できます。ML加は,波長分散型蛍光X線分析装置(WDXRF)S8老虎で使用可能です。
毫升+は光谱+を拡張し,波長分散型蛍光x線分析(wdxrf)による単層および多層試料の分析を可能にしました。これにより,数原子層(1海里以下)からµmあるいはmmまでの薄膜試料の厚さや組成を直接測定することができます。
毫升+では,ファンダメンタル·パラメ,タ法により解析を行います。MLplusの厚さと組成の決定は,SPECTRA+のスタンダ,ドレス分析に基づいています。特定の多層膜標準は必要ありません。もろん,結果を最適化するために,様々な多層膜標準物質を登録して使用することもできます。
毫升+は,モデルを設定した後,1回の測定ごとに自動評価を行うことができます。多層膜解析は,層状ガラスやメッキ試料といったコーティングなど,日常的なプロセスコントロールに利用できます。