洞察力" WLI
自动化，量具能力的计量研发和生产
汪汪汪汪
InSight WLI与300mm晶圆处理器
全自动InSight WLI系统提供了无与伦比的光学表面测量能力，集成了晶圆处理器。为了满足最苛刻的研发、质量保证和过程质量控制需求，InSight WLI集成了布鲁克专利的尖端/倾斜头、专有的自校准激光基准、集成模式识别以及布鲁克独有的许多其他干涉测量创新。没有其他计量系统为如此广泛的生产计量和成像应用提供非接触式精度，吞吐量和操作员便利性。
特長
准确性和稳健性基准
- 独特的计量传感器设计，采用专利双led光源
- 自校准，计量优化激光基准
- 集成隔振地板安装柜
测量与分析
最快，最简单的纳米尺度测量
- 全自动测量能力
- 行业领先的纳米尺度的特点
最强大的测量和分析
- 精简的、可定制的生产界面
- 灵活的配方和自动化的测量优化
- 广泛的过滤器库和可定制的分析选项
高要求配置
要求高级包装的配置
- 完整的模具平面度和CMP计量解决方案
- TSV和互连测量
- 全线模的热点和缺陷检测
工厂自动化准备就绪
- 秒/宝石
- S2 / S8兼容
- FDC, DCOL可用
アプリケーション
超级超级超级超级
支持
我们能帮什么忙?
布鲁克与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，帮助客户选择合适的系统和配件。这种伙伴关系通过培训和延长的服务，在工具销售后很长一段时间内继续下去。
我们训练有素的支持工程师，应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级以及应用程序支持和培训最大限度地提高您的生产力。