x射线缺陷检查
布鲁克缺陷检测系统使用x射线衍射成像(XRDI)来检测晶体缺陷，如裂纹、滑移、位错和单晶衬底上的微管。我们的XRDI检测技术不使用蚀刻酸。这些系统广泛用于检测Si晶圆中导致晶圆断裂的裂纹，并提高其他高价值衬底(如CdTe和SiC)的成品率和质量。
支持
我们如何提供帮助?
Bruker与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发新一代技术，帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务继续下去，直到工具出售很久之后。
我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级，以及应用程序支持和培训，最大限度地提高您的生产力。