jvsensus - 600 f
对任何技术节点的工艺工具进行鉴定和监控，以缩短周期时间并促进晶圆厂扩展
x射线衍射成像(XRDI)检测系统
汪汪汪汪
jvsensus - 600 f
JVSensus-600F是面向300mm Si器件制造商的x射线缺陷测量系统。使用最新的x射线衍射成像(XRDI)技术，它有助于识别晶圆生产过程中遇到的问题。应用包括监测边缘损坏，以防止在超快速退火过程中昂贵的晶圆破裂。它可以在任何技术节点对工艺工具进行鉴定和监控，从而缩短周期时间并促进晶圆厂扩展。
特長
容易识别晶体缺陷
JVSensus使用户能够在晶圆片发生破裂之前识别可能导致灾难性结构破坏的裂缝和其他缺陷。一旦观察到缺陷，可以进行非破坏性的横截面检查图像来定位晶圆深度内的缺陷位置。
测量有图案的晶圆片
测量可以进行毯，图案，和金属化晶圆片没有样品制备。即使晶圆片上存在图案，也可以识别缺陷。
检测滑
造成覆盖层问题的主要原因是滑动。无论是逻辑图案晶片，硅上氮化镓还是铸锭片，JVSensus都可以在几分钟内检测到滑移。
超级超级超级超级
支持
我们能帮什么忙?
布鲁克与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，帮助客户选择合适的系统和配件。这种伙伴关系通过培训和延长的服务，在工具销售后很长一段时间内继续下去。
我们训练有素的支持工程师，应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级以及应用程序支持和培训最大限度地提高您的生产力。