電気特性評価オプション

ブルカーはPIシリーズ装置向けのオプション、Electrical Characterization Module(ECM、電気特性評価モジュール)により、in-situで電気および力学特性評価を同時に行うソリューションをご提供します。一定の電圧をかけた条件下で圧子と試料間の導電経路を伝わる電流を測定することで、荷重－変位曲線のデータと同時に、電気特性の評価を連続的に行うことができます。電子顕微鏡画像を用いて、正確に圧子の位置を確認できるので、特異的な測定箇所も正確に狙うことができます。この手法により、ピラーや粒子などのマイクロ構造体やナノ構造体の電気力学特性を把握することができます。電子顕微鏡の真空環境下で測定を行うため、湿度または水の吸着効果は最小化されます。

MEMS Electrical Push-to-Pull(E-PTP) デバイスを用いることで、ECMの機能を拡張して、引張試験を行いながら、標準的な4点測定により試料の電気抵抗抵抗率を測定することができます。電流電源と電圧の検出電極を分離した設計が、測定時の接触抵抗とリード線抵抗をなくすことにより、電気的特性を正確に測定することができます。IV曲線を測定するために電圧掃引測定も可能です。もちろん荷重、歪みの正確なデータ、電子顕微鏡での試料寸法の観察をin-situで行いながら、電気特性評価を行うことができます。