スキャンプローブ顕微鏡イメージングを用いたインシチュSEMナノメカニクス
力フィードバックに基づくサンプル表面の地形画像化
Brukerの業界をリードするヒシトロン®走査プローブ顕微鏡(SPM)は、PI89SEMを用いたインシトゥ走査電子顕微鏡(SEM)に対応しています。トランスデューサを用いた閉ループ制御でピエゾ作動式スキャン段階を利用することにより、ナノスケールの精度でサンプルに対して迅速にラスター化することができます。これにより、フォースフィードバックに基づくサンプル表面の地形画像化が可能になります。
(a) バルク金属ガラス上のイン・シンチナノインデンテーションのSEM画像。(b) in-in-situ ナノインデンテーションの SPM 画像。そして(c)インデント全体のプロフィールは、杭打ちボリュームとスリップバンドによって形成されたステップを定量化することができる。
(a) バルク金属ガラス上のインシチュスクラッチのSEM画像。(b) イン・ザ・イン・ザ・シン・マイクロスクラッチのSPM画像そして(c)スクラッチ全体のプロフィールは、杭打ちボリュームとスリップバンドによって形成されるステップを定量化することができる。
表面の特徴はSEMで二次電子イメージングで高解像度で見ることができるにもかかわらず、定量的地形データを得ることは困難です。SPM は、同じプローブを使用して、インデント テストの実行に使用されるサンプル サーフェスをイメージすることで、この問題に対処できます。これにより、サンプル フィーチャの正確な高さ情報と、サーフェスの粗さなどの関連パラメータが提供されます。この機能は、ナノインデントやスクラッチトラックからの積み上げやシンクインの測定など、テスト後の変形を分析する場合にも特に役立ちます。
