高解像度の In-Situ SPMイメージング

ブルカーのトライボインデンターでは、測定に使用するプローブで試料表面を走査し、表面形状像を取得することが可能です。取得した表面形状像で測定位置を指定し、そのまま試験を実施するため、高い位置精度が実現します。それだけではなく、試験後の材料変形挙動の観察も迅速に行うことができます。

ナノメートルの精密高精度な測定位置決め

ブルカーのIn-Situ(その場観察) SPMイメージングは、テストと同じ長さスケールのイメージング分解能を提供し、ナノスケールでの真の定量的かつ正確な特性評価を可能にします。試験前のSPMイメージングは、ナノメートルの分解能で表面の形態（微細構造、トポグラフィー、粗さなど）を直接測定することができ、試験前の表面欠陥を回避するために重要です。高精度±10nmの試験位置精度は、多相材料の試験を合理化し、微細構造（形状、サイズ、ドメインの分布など）と機械的特性との直接的な相関関係を可能にします。さらに、試験後のSPMイメージングにより、材料の変形挙動（破壊、パイルアップなど）の定量的な特性評価と試験配置の検証が可能です。

最大4096 x 4096の解像度

ブルカーのSPM+は、ナノメカニカルSPMイメージング機能がさらに大きく進化。SPM+では、スキャンサイズと画像解像度のカスタマイズが可能となっており、お客様の希望のサンプル測定ニーズに幅広く対応します。