PCRAM厚度和成分

非常适合用于监测相变存储器和其他复杂、多元素结构堆叠的新兴存储器，力量的Sirius-RF该工具将堆栈中单个层的x射线反射率(XRR)厚度测量与多源μ XRF相结合，用于确定衬垫和电池区域的成分和厚度。

例如，该系统用于测量内存元件(GeSbTe - GST)和Ovonic阈值开关(OTS, GeAsSe)的组成和厚度，这两个参数都是关键参数。

Sirius-RF μ XRF可以在线监测计量垫或设备区域的成分。快速收敛束XRR允许厚度测量在1-2秒每个点。

了解薄膜材料的相变行为对PCRAM器件的发展至关重要。雷竞技网页版
非环境x射线衍射允许精确地确定晶体相和晶格参数作为温度的函数。
此外，x射线反射法是测定非晶GST薄膜厚度最准确的非破坏性方法。

布鲁克实验室衍射解，D8发现和D8提前，是强大的XRD工具，可支持PCRAM器件的研发。