X선회절(xrd)

DIFFRAC。XRR

DIFFRAC。XRR은 X선 반사측정 측정을 분석하기 위한 강력하고 사용하기 쉬운 소프트웨어 제품군입니다.

하이라이트

포괄적tmp선반사율분석

DIFFRAC。XRR은 사용자의 요구 사항에 가장 적합한 두 가지 분석 방법을 제공합니다.

  • 한번의마우스클릭으로XRR (x射线反射计)곡선에서레이어두께를빠르게추정하기위한FFT(快速傅里叶变换)방법。
  • 동적산란이론을사용하여샘플모델기반피팅을통한상세한XRR분석。

DIFFRAC。XRR은 샘플 모델 작성부터 결과 보고에 이르기까지 전체 분석 프로세스에서 사용자의 효율성을 극대화하도록 설계되었습니다.

  • 공식기반매개변수및자유피팅변수를포함한유연한샘플모델링
  • 재료및샘플에대한포괄적이고확장가능한데이터베이스
  • 매크로기록및단계별실행을포함한고급자동화및워크플로기능
  • 일련의반사율측정에대한자동분석및@ @시
  • 맞춤형등고선플롯및통계분석을포함한웨이퍼매핑데이터평가
  • 템플릿기능을갖춘강력하고광범위한보고서생성기

특징

FFT분석을이용한빠른XRR분석

레이어두께에만관심이있으십니까?

DIFFRAC。XRR은 벤치마크를 설정합니다: Estimate 도구는 한 번의 마우스 클릭으로 FFT (Fast Fourier Transform)를 통해 레이어 두께를 평가하고 결과를 해당 XRR 측정 그래프에 직접 추가합니다.

이방법의장점은조사중샘플에대한사전지식이필하지않다는것입니다。

전체피팅을통한상세한XRR분석

상세한분석을위해diffrac。XRR은 동적 산란 이론을 적용하여 정확한 시뮬레이션을 수행하여, 최소 제곱 피팅으로 샘플 모델의 매개 변수(예: 두께, 거칠기, 질량 밀도)를 최적화합니다. 측정을 정확하게 설명하기 위해 기기 해상도, 배경 및 샘플 크기의 영향과 같은 실험 효과가 고려됩니다. 빠르고 신뢰할 수 있는 피팅 알고리즘은 최상의 수렴을 보장하고 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다.

포괄적재료데이터베이스

DIFFRAC。XRR은 포괄적이고 확장 가능한 재료 데이터베이스를 제공합니다. 여기에는 비정질 및 결정질 재료뿐만 아니라, 최대 4차 화합물까지의 혼합 결정이 포함됩니다. 데이터베이스는 흡수, 침투 깊이, 굴절률, 편광도와 같은 X선 속성뿐만 아니라 구조 요소 또는 hkl 패턴의 계산을 제공합니다. 새 데이터베이스 항목을 쉽게 생성하기 위해 .cif 파일과 .str 파일을 직접 가져올 수 있습니다.

탁월한유연성을갖춘샘플모델정의

DIFFRAC。XRR은 단순한 단일 레이어에서 초격자 및 그라디언트를 포함하는 매우 복잡한 레이어에 이르기까지 이 모든 것을 마스터합니다. 다양한 계면 거칠기 모델을 통해 다양한 성장 형태를 정확하게 설명할 수 있습니다. 도면층 매개변수를 연결하여 구속조건을 부과할 수 있습니다. 그리고 추가 자유 변수의 가용성은 샘플 모델링의 유연성에 대한 새로운 표준을 설정합니다.

보다빠르고효율적작업을위한샘플데이터베이스

DIFFRAC。XRR은 강력한 샘플 데이터베이스와 함께 제공됩니다.

복잡한샘플구조를만들고저장한다음,현재의분석프로젝트에직접로드할수있습니다。이것은일상적작업의효율성을크게가시킵니다。

측정소프트웨어diffrac。套件와샘플데이터베이스를공유하면실험을보다효율적으로계획할수있으며,크게DIFFRAC。套件소프트웨어플랫폼의PLAN.MEASURE.ANALYZE철학까지지원할수있습니다。그리고추가자유변수의가용성은샘플모델링의유연성에대한새로운@ @준을설정합니다。

탁월한보고기능

DIFFRAC。XRR에는 최신 출판용 그래픽 및 전체 분석 보고서 작성을 위한 전문 인쇄 및 보고 시스템이 포함되어 있습니다.

사용자정의및완벽한맞춤보고서템플릿을생성할수있습니다。보고서를직접인쇄하거나pdf파일로공유하거나docx문서를통해추가로편집할수있습니다。

自动化

일상적tmp선반사율분석이그어느때보다쉬워졌습니다。DIFFRAC。XRR은 매크로를 기록하고 단일 실행 또는 단계별 모드로 실행할 수 있습니다.

工作流设计器는측정데이터가져오기에서결과보고에이르기까지분석을통해사용자를안내하거나완전히자동화된워크플로생성을위한직관적인인터페이스를제공합니다。

측정 분석

XRR측정시리즈들은종종다양한非环境조건에서샘플로수행됩니다。

DIFFRAC。XRR을 사용하면 이러한 데이터 시리즈를 쉽고 빠르게 분석할 수 있습니다. 샘플 모델의 각 정제된 매개변수는 non-ambient 매개변수의 기능으로 개별적으로 표시될 수 있습니다. 추가 통계 분석을 통해 샘플의 속성과 행동에 대한 최대의 통찰력을 얻을 수 있습니다.

정밀한웨이퍼분석

웨이퍼또는역매핑을통해샘플의측면균질성을결정할수있습니다。

DIFFRAC。XRR은 전체 웨이퍼 분석 기능을 제공합니다. 각 정제된 샘플 매개변수는 윤곽으로 표시될 수 있으며, 매개변수에 대한 자세한 통계가 표시될 수 있고, 표면을 따라 섹션을 통해 로컬 샘플 속성을 자세히 볼 수 있습니다.

사양

DIFFRAC。XRR사양

버전

소프트웨어의현재버전은diffrac。XRR v2.0입니다。

분석 방법

빠른두께추정을위한FFT방법。

재귀행렬형식주의를통해동적회절이론。

초박막시뮬레이션을위한효과적marketing밀도모델(edm)。

초격자의가장빠른시뮬레이션을위한特征波(MEV)의방법。

운체제

windows 8, 8.1및10 .单击“确定”

64비트

지원

DIFFRAC。XRR를 최신 상태로 유지하십시오.

무료유지보수업데이트

무료diffrac。XRR유지 관리 업데이트는 XRR 버전을 최신으로 갱신합니다. XRR 라이센스 수준에 관계없이 www.brukersupport.com 최신 유지 관리 업데이트를 무료로 다운로드할 수 있습니다!

다운로드프로세스

  • 브루커고객지원에등록
  • “소프트웨어”버튼을클릭합니다。
  • DIFFRAC。XRR유지 보수 업데이트를 검색합니다.
  • 업데이트다운로드

버그 수정

DIFFRAC。XRR을 최신 상태로 유지하면 라이선스 수준에 관계없이 현재 버전뿐만 아니라 이전에 출시된 모든 버전에 대한 모든 버그 수정의 이점을 누릴 수 있습니다.DIFFRAC。XRR유지 관리 업데이트는 누적되므로 이전 버전에도 적용할 수 있습니다.

업그레이드란무엇입니까?

DIFFRAC。XRR유지 관리 업데이트에는 새로운 기능이 제공되지 않습니다. 새로운 주요 릴리스에서 도입된 기능의 이점을 얻으려면 최신 DIFFRAC.XRR 업그레이드를 구입해야 합니다.