金属切削工具用硬质合金像WC-Co (cobalt-rich矩阵中碳化钨)与不同的CVD和PVD涂层提高表面硬度,硬度和耐磨性。这些涂料主要是过渡金属氮化物和碳化物锡、抽搐,ZrN, VN, TiCN TiAlN。能谱是一个很好的工具来研究碳化钨涂层。
在这个应用程序示例中,抽搐/ N,艾尔2O3层与EDS WC-Co层映射。F搞笑。1显示了聚焦离子束(FIB)的横截面刀具边缘。镀锡层顶部层是紧随其后2O3/ / TiCN /锡和锡WC-Co作为衬底。与EDS,我们可以区分锡之间N构成的变化,TiCN和锡层(图2)。此外,思捷环球从力量能够deconvolute强烈重叠分析软件自动Ti和N(图4)。