层厚变化图
该样品在玻璃基板上有两个电极，是光诱导电解的测试装置。它由双金属单层组成，沿表面有浓度梯度。采用磁控溅射双cu - al靶镀膜玻璃基板。
由于x射线可以穿透物质，XRF通常可以测定层的厚度。使用micro-XRF层分析(厚度和成分)是可行的空间分辨率在微米尺度。层析分析是基于原子基本参数定量的，可以通过使用标准样品来改进。因此，“常见”层系统，如ENEPIG涂层、ZnNi涂层或焊料层，在标准易于获得的情况下，可以高精度测量，但也可以在研发环境中测试新层系统。
整个样品面积为5 x 5 cm²，空间分辨率为50µm，每像素测量时间为50 ms。层状元素Al和Cu的元素分布具有明显的浓度梯度。
用5x5像素的分箱对Si上的Cu:Al厚度进行了定量(产生了250µm的层厚度分析分辨率)。这种新颖的样本系统没有参考样本。该方法以基本参数为基础，定量结果与制造商的预期相符。