치수 에지 PSS
하이라이트
치수 에지 PSS
AutoMET™ 계측 소프트웨어와 브루커의 치수 가장자리™ PSS 원자력 현미경은 LED 기판 및 상피 제조 업체에 대한 이상적인 나노 계측 및 나노 검사 시스템입니다. 차원 가장자리 AFM 플랫폼의 확장으로 Edge PSS는 차원 AFM 시스템이 유명한 놀라운 가치와 해상도를 통합하는 동시에 기판 측정을 위한 프로덕션 기반 솔루션을 제공합니다.
특징
PSS 분석을 위한 최고 해상도
패턴 사파이어 기판 (PSS)의 피치가 2 미크론 이하로 떨어지면 전통적인 공초점 기술은 귀중한 공정 계측을 제공하는 데 필요한 해상도를 잃게됩니다. 차원 가장자리 PSS 원자력 현미경 (AFM)은 하위 나노 미터 해상도와 한 번에 최대 9 개의 2 인치 웨이퍼 (또는 단일 4 인치 또는 6 인치 웨이퍼)를 측정 할 수있는 기능으로 이러한 필요성을 해결하여 PSS 제조 공정을 제어하는 데 필요한 모든 데이터를 제공합니다.
치수에지PSS에내장된특정 PSS 측정 기능 외에도 이 시스템은 에피택시 거칠기 측정을 위한 고해상도 및 저잡음, 그리고 태핑 모드, 접촉 모드, 위상 ™ 및 리프트 모드와 같은 표준 및 독점 AFM 모드를 포함하여 차원 현미경으로 유명해진 세계 최고의 브루커 AFM 기술을 모두 통합™합니다.
고급 PSS 계측 기능
차원 가장자리 PSS AFM은 PSS 기판에 대한 모든 중요 파라미터를 분석하는 나노미터 해상도를 제공하며 전체 웨이퍼와 웨이퍼에서 웨이퍼에 대한 이 정보를 자동으로 수집합니다. 브루커의 전용 PSS 분석 패키지는 다음에 대한 데이터를 동시에 제공할 수 있습니다.
- 높이, 너비 및 피치
- 측면 벽 각도 및 기능 프로파일
- 비대칭 식별 및 측정
- 오염 식별
- 식별 및 회전 각도
- 플랫 탑 식별
업계 최고의 오토메트 소프트웨어
Edge PSS는 LED 제조 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계된 AutoMET 소프트웨어를 통합합니다. 이 소프트웨어는 두 가지 운영 모드를 갖추고 있습니다.
- 연산자 레벨 – 푸시 버튼이 있는 간단한 사용자 인터페이스는 팁 변경, 정렬, 조정 및 자격 의 단계를 통해 사용자를 안내합니다. 단일 버튼 작업은 간단한 PASS/FAIL 출력으로 자동으로 최대 9개의 웨이퍼를 실행합니다.
- 엔지니어 레벨 – 암호로 보호된 사용자 인터페이스를 통해 엔지니어는 모든 중요한 AFM 매개 변수에 액세스할 수 있습니다. 프로세스 엔지니어는 이 모드에서 필요한 모든 패스/실패 기준을 쉽게 설정할 수도 있습니다.
차원 가장자리 PSS는 쉬운 레이저 정렬뿐만 아니라 자동 보고서 생성으로 운전자의 유용성을 향상시켜 가치 있는 AFM에서 출시된 최고의 사용자 경험을 제공합니다.
