패스트스캔프로
하이라이트
치수패스트스캔프로
차원FastScan Pro는오늘날사용할수있는모든산업AFM의가장높은계측수준의속도와성능을제공합니다。이시스템은자동화또는반자동측정을가능하게하면서품질관리,품질보증및고장분석을위해측정당최대한의사용편의성과최저비용을보장합니다。
특징
생산다양성
FastScan Pro는개방형플랫폼,대형또는다중샘플홀더및수많은사용편의기능을활용하여산업용QA、QC및FA애플리케이션을위한유연한고성능나노스케일계측을제공합니다。이시스템은세미,데이터스토리지및HB-LED를위한자동2인치에서인12치웨이퍼측정을제공합니다。200毫米200毫米직경영역에서웨이퍼또는여러샘플에완전히접근할수있도록XY샘플이동이증가하고300毫米웨이퍼를위한척옵션을제공합니다。또한지형,거칠기및기타계측분석을위한고처리량渲染FastScan스캐너또는더큰스캔및고정밀지형성능을위한90μm스캔범위가있는아이콘스캐너중에서선택할수있습니다。
강력한자동화소프트웨어
AutoMET™풀레시피소프트웨어는빠르고자동화된계측,간단한작동및AFM적응성을제공하여생산에필요한중요품질측정을쉽게포착할수있습니다。이소프트웨어를사용하면여러위치에서나노스케일특성화를위해여러샘플또는단일대형샘플에서자동화된측정을할수있습니다。또한수십나노미터내에서광학및AFM이미지패턴인식,팁센터링,전체웨이퍼또는그리드매핑지원,이미지배치정확도를제공합니다。포괄적이지만간단한레시피작성은고급사용자에게실시간및오프라사용을제공합니다。
정밀한프로브시료제어
고유한기술을통해샘플의모든원자에대한정밀한힘을사용할수있습니다。이정밀한프로브대시료제어는연약한폴리머,박막및전기샘플에서단단한재료에이르기까지가장광범위한샘플유형을허용합니다。또한수백개의참여및데이터스캔을통해사용가능한이미징력과긴프로브팁수명을제공합니다。
由NanoScope 6 AFM控制器提供动力
NanoScope 6控制器具有更高的速度，更低的噪声和更大的AFM模式灵活性，允许用户充分利用我们高性能维度和多模式AFM系统的全部潜力。这一最新一代控制器提供了前所未有的精度，精度和多功能性的纳米级表面测量在每个应用程序。
NanoScope 6独特地使布鲁克AFMs:
- 与竞争系统相比，可以在更多的成像模式下操作，包括需要复杂控制和分析的独特和先进的AFM模式;
- 在每一个应用中收集精确、定量的纳米电和纳米力学性能测量数据;而且
- 优化和自定义扫描参数，以满足最苛刻的研究和行业测量要求。
응용
차원FastScan프로데이터갤러리
