SIRIUS-RF
第四代系统提供行业标准的可靠性
符合SEMI标准
하이라이트
Sirius-RF
Sirius-RF是成熟平台中的第四代系统，可提供行业标准的可靠性、易用性、fab自动化和SEMI标准符合性。
会聚束
XRR
提供快速，第一性原理的厚度和密度测量抄写线
双重来源
µ光谱仪的配置
为每个设备的各种层提供灵活性和最佳性能
堆栈
测量能力
在计量垫上或直接在设备上以非破坏性的方式测量成分和厚度
특징
Sirius-RF特性
- 收敛束XRR快速，第一性原理的厚度和密度测量抄写线
- 双源μ XRF配置的灵活性和每个设备的各种层的最佳性能
- 用于高级内存(DRAM, PCRAM, 3D-NAND, MRAM)，逻辑，功率器件和封装
- 成分和厚度测量
- 在计量板上或直接在设备上(无损方式)
- 多栈测量能力
응용
应用实例:PCRAM
- 内存元件(GeSbTe - GST)和Ovonic Threshold Switch (OTS, GeAsSe)的组成和厚度是关键参数
- Sirius-RFµXRF可以在线监测计量垫或设备区域的成分
- 快速收敛束XRR允许厚度测量在1-2秒每个点。
지원
支持
我们如何提供帮助?
Bruker与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发新一代技术，帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务继续下去，直到工具出售很久之后。
我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级，以及应用程序支持和培训，最大限度地提高您的生产力。