덱탁xt
하이라이트
덱탁xt
DektakXT®는50년이상지속적인개발과혁신을통한글로벌업계리더로써,단일아치형台式설계를통해다양한应用에활용이가능하며,4Ω의탁월한반복성및정확성그리고최대40%향상된스캔속도를제공합니다。DektakXT의집약된기술력인안정적인계측및유저편의성을통해研发부터QC까지개선된공정모니터링의가치와성능,놀라운사용편의성을제공합니다。DektakXT는微전자장치,반도체,MEMS,광학,필름,코팅,태양열,고휘도,의료및재료과학산업분야에서박막및거칠기,곡률등을1(옹스트롱)의수직해상도를바탕으로나노미터단위표면측정을가능하게합니다。
특징
데이터수집및분석가속화
독특한直接传动스캔단계를활용하는덱탁XT는업계최고의성능을유지하면서측정스캔시간을40%까지속도를높입니다。64年力量의비트병렬처리작업및분석소프트웨어인Vision64는3 d파일을더빠르게로드하고필터및다중스캔데이터베이스분석을더빠르게적용할수있습니다。
가장반복가능한측정기능제공
단일아치형구조를구현하면덱탁XT를더견고하게하여환경소음의영향을최소화합니다。덱탁XT의업그레이드된”스마트전자제품”은온도변화를줄이고오류를유발하는소음을최소화하는최신프로세서를사용하여< 10 nm이하높이차를측정할수있는더욱강력한시스템이될수있습니다。
완벽한운및분석
브루커의Vision64소프트웨어는가장직관적이고능률적인시각적사용자인터페이스를제공함으로써덱탁XT의혁신적인디자인을보완합니다。지능형아키텍처와사용자지정가능한자동화기능의결합을통해빠르고포괄적인데이터수집및분석을가능하게합니다。단일스캔에서일상적인분석을수행하기위해방안을사용하든사용자지정필터설정및계산을적용하든덱탁XT데이터분석기는현재데이터를표시하는동시에다른가능한분석을표시합니다。
쉽게만들기
덱탁XT의자체정렬스타일러스조립은사용자가스타일러스크기를빠르고쉽게변경할수있도록하는동시에프로세스중에발생할수있는모든잠재적인사고를제거할수있도록합니다。力量는거의모든응용분야의요구를수용할수있는가장광범위한스타일러스크기를제공합니다。
높은수율보장
덱탁XT는자동화된다중사이트측정루틴을빠르고쉽게설정하고실행하여웨이퍼표면전반에걸쳐박막의정확한두께를타의추종을불허하는반복성을확인할수있는기능을제공합니다。이효율적모니터링은수율을개선하여귀중한시간과비용을절약할수있습니다。
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고객의평가
저는브루커프로파일러의오랜소유자입니다。제첫번째프로파일러는약20년전Dektak6스타일러스프로파일러였고,그다음Dektak150이었고,그다음은광학프로파일러인ContourGT였으며,가장최근에는DektakXT였습니다。게다가，이모든기계는여전히작동하고있습니다!그기계들은최소한의가동중지시간으로,매일매일미세하고정확한측정을제공하는그저”일하는말”과같습니다。멀티유저시설의매니저로서,저는브루커와오랫동안좋은파트너십을맺어정말행복합니다。수백명의학생들이이미수천번，이기계를사용했습니다。이러한프로파일러는강력하고신뢰할수있으며친숙한플랫폼임을완전히명합니다。
