半导体与纳米技术

先进电源(GaN & SiC)

先进的能力

布鲁克HRXRD / XRR系统是表征先进电力系统(如硅上氮化镓和SiC上氮化镓)的首选系统。它们用于世界各地的生产线，用于测量薄膜厚度，成分和质量，以确保布鲁克客户的高产量。

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先进的能力

GaN on Si功率器件计量

一套完整的计量已经开发了氮化镓在硅上的应用。

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先进的能力

Sic Defectivity

x射线衍射成像(XRDI，也称为x射线形貌)和微xrf用于成像和可视化完美(或接近完美)衬底的晶体缺陷。

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