半导体与纳米技术

先进的内存

先进的内存

从手机到笔记本电脑，再到高端服务器，各种各样的内存无处不在。这些包括DRAM、3D-NAND和更晚的相变存储器(如XPoint)和MRAM。布鲁克使用一系列x射线系统和技术来表征薄膜的关键参数:从厚度、成分到形状轮廓。

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先进的内存

膜结晶度

在高级存储器中，金属/氮化膜的结晶性能对器件性能至关重要。

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PC RAM的厚度和组成

大多数新出现的记忆都是一堆复杂的、多元素的结构。Sirius-RFµXRF允许在计量垫或设备区域进行在线成分监测。快速收敛光束XRR允许厚度测量在1-2秒每点。

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