当图案蓝宝石衬底的间距小于2微米时,光学技术无法达到提供有价值的过程计量所需的分辨率,原子力显微镜(AFM)提供准确的解决方案。它们提供亚纳米分辨率和测量所有必要数据的能力,以保持PSS制造过程处于控制之下。
FT-IR发射光谱学是分析新型红外光源、激光、led或电致发光的理想工具。研究系列FT-IR光谱仪的最高光谱分辨率允许完全解决激光模式。时间分辨率低至低纳秒范围的时间分辨率测量使单个激光脉冲的采集成为可能。利用锁相技术的调幅阶跃扫描为记录非常微弱的发射信号提供了可能。对于毫米或微米范围内的小型发射器,适用于研究光谱仪的红外显微镜同时为发射显微镜提供出色的横向分辨率和最大的灵敏度。
自行研制的红外探测器可以用布鲁克FT-IR研究光谱仪进行测试和表征。单元素探测器可以直接适用于研究系列光谱仪的外光学。对于焦平面阵列(FPA)探测器的特性,可以使用专用的外部测量模块。