pHEMT表征

HRXRD epi-layers测量的建立。的力量QCVelox-E是艺术领袖epi的状态监测和复合半行业被广泛使用。一个关键应用程序的监控epi-layers pHEMT结构用于射频设备。这些结构包含的组合InGaAs, AlGaAs和砷化镓层,个人成分和厚度对性能至关重要。使用HRXRD允许将这些参数精确确定几分钟,完全自动化测量和拉德进行分析。

可选SECS-GEM工厂主机软件和机器人装载可用来完成系统的自动化。

组成、应变状态和层厚度是关键参数确定等半导体器件的性能HEMTs或激光器结构。
高分辨率x射线衍射分析方法的选择时,以尽可能高的精度确定这些参数。

力量的XRD旗舰解决方案,D8发现家庭,配备领先技术x射线源和探测器,高分辨率光学和样品阶段,允许大型晶片映射。
的D8发现结合XRD性能和易用性。自动测量和分析程序使它完美的解决半导体异质结构的调查研究和过程开发。