多层镜像技术
级多层反射镜先开发H西门斯分行Goebel90年代中叶慕尼黑和卡尔斯鲁厄自那以来,合成多层光学使单色片场发生革命性变化,因为首次提供高效波束分片设备,可分一或二维构造X射线,同时形成聚焦或并行波束高反射度、广岩石曲线、光谱精度和金枪鱼光束参数使分层多层镜像完全选择微焦X射线源,保护源光亮度
分层多层镜像由反射层交替栈组成,如W或Ni和空间层如C或B4C.允许生成周密设计的多层结构并沿光学生成层厚度横向梯度实现Bragg法则不同事件角度-并保证最高质量-理论值与光学图层厚度实现值之间的协议必须优于1%
前GKSS研究中心Geesthacht薄膜研究部内联收集多层结构沉积经验超过30年自第一天起,我们的镜面实现最高质量标准
今日,INCOTEC分层多层镜像X光分析解法.
