使纳米级跆拳道映射在某些FE-SEMs浸/表模式

最近的大规模采用纳米技术引发了一场争夺最高的分辨率扫描电子显微镜(SEM)。一种方法实现最终的空间分辨率使用磁浸没透镜。之前,使用油浸物镜方向映射是不可能的。这是因为镜头形成的磁场干扰传输菊池模式(TKP)收集和分析过程。干扰有两个主要组件:

• 周围的散射电子约束在一个狭小的空间扫描电镜的光轴(见TKP下面的“场”)。
• 菊池模式扭曲、旋转磁场和转移。

首先,菊池信号降低到一个区域扩大到10毫米的光轴SEM。这个容器的电子光学轴意味着很少散射电子将达到一个标准EBSD探测器一般地方的荧光屏的距离大于15毫米的光轴SEM。轴上跆拳道技术支持OPTIMUS 2解决这个问题通过捕获菊池模式的SEM光轴。

第二,严重扭曲由TKPs磁场的存在,使不可能的准确检测。纠正扭曲和弥补TKPs旋转和变化,我们已经开发出一种新的软件功能(专利申请中)称为ESPRIT费尔跆拳道(满油浸物镜跆拳道锻炼)。特性很容易调整和已经完全集成的自动映射收购的过程精灵2软件。

费尔跆拳道锻炼的结合特性与同轴的跆拳道,可以准确定位映射操作时使用高端FE-SEMs超高分辨率的模式,即与油浸物镜活跃。

最终的结果或受益这一独特的HW & SW选项的组合是跆拳道结果清晰可见图2所示(*)。模式质量地图(左)展示定性的物理空间分辨率时更好的激活油浸物镜(非常尖锐特征)。谷物比10 nm /功能更可以清楚地看到在油浸物镜的定向地图获得活跃。