以LaB6为例进行定量分析

六硼化镧(LaB₆)为S/TEM中的定量EDS分析提供了一个非常具有说明性的例子，因为它包含两个极端，一个非常轻的元素(B)和一个重元素(La)。实验室₆可以用来显示布鲁克的XFlash的性能吗^®检测器和Cliff-Lorimer定量程序。

未知样品部件的定量试验从元素鉴定开始。要量化的元素可以通过自动的或交互的例程来定义。光谱中来自杂散辐射(如样品支架上的铜)或污染(如碳)的元素线只能用于反褶积。因此，各自的信号可用于线反褶积，但不考虑试样中元素浓度的测定。下一步是背景减法。为了更好地拟合背景，提出了一种特殊的物理韧致模型。第三步是峰值反褶积。几种不同的拟合模型可用于最佳峰分离。最后，使用理论或校准的Cliff-Lorimer (CL)因子完成量化。

一个实验室₆标准(图库中的绿松石光谱)可用于实验校准Cliff-Lorimer因子。

使用理论CL因子的结果已经显示出布鲁克Cliff-Lorimer量化的优异性能。它们非常接近14.29 at的预期组成。%和85.71。%代表La和B，如图片库中的表格所示。此外，使用La K系列而不是l系列进行量化的结果表明，QUANTAX系统非常适合于光谱采集，也适合于超过20 keV线能量高达80 keV的量化。