大区域映射(Hypermaps)使用SEM可以受到一个标准的SEM的缓慢运动阶段。此外,还有潜在的x射线信号强度构件低倍镜下由于电子束的方差和样本期间交互分析。这特别适用于改进算法分析,也可以观察到BSE图像或EDS元素强度地图。
的快速的阶段是专门为扫描电镜,使大面积映射在毫米(mm)厘米(cm)。这将消除潜在的扫描电镜x射线强度变化构件与低放大率有关映射,从而加强元素和矿物信息及时的庄园,以前不可能的。快速阶段也会同运营micro-XRF。
快速阶段最大分析面积50 mm x 50 mm,可结合SEM阶段扩大到包括允许的最大可能的空间区域内任何扫描电镜室。传统的大面积使用SEM分析是基于拼接众多领域的观点一起创建大面积地图,在每个字段映射通过光栅梁。与样品的x射线源在一个固定的位置,因此无法控制光栅作为标准SEM电子束。
因此,所有映射是通过阶段控制(即运动阶段)。从而使大面积快速阶段映射近一个数量级的速度比如果SEM-stage从点对点移动。例子是图1所示(混凝土),图2(奇异的铜)和图3(土壤基础)。