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micro-XRF的一个关键好处是最小样品制备的要求。然而分析飞机必须定义的测量。许多样品不完美的平面,也不能被改变(即重要历史博物馆文物)。对定性分析的样品(如地图或扫描行)地形、部分的外表面将焦平面。孔径管理系统(AMS)旨在增加景深。就像光学成像,但因为不同的原因——一个光圈镜头前增加了景深。,即使对样品高地形,大多数结构保持关注,也就是说,在焦平面内。