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频率
笔名:
75千赫
弹簧常量。
笔名:
3．0N / m
几何
矩形
齿顶圆角半径
25纳米
材料
0.01 - 0.025 Ωcm锑(n)掺杂Si
涂层
PtIr
F:导电PtIr
B:反光PtIr
频率
笔名:
300千赫
弹簧常量。
笔名:
42N / m
几何
矩形
齿顶圆角半径
5纳米
材料
0.01 - 0.025 Ωcm锑(n)掺杂Si
涂层
B:反光铝