多角度反射计

我们的多角度反射计技术是更敏感的折射率比标准光谱椭圆对称或反射计在电影。结合多角度反射计和光谱椭圆光度法使快速、同步、自动测量薄膜的厚度和光学常数(特别是折射率)与更好的性能和更有挑战性的样品比技术能力。这是特别有用的测量超薄电影,多层膜的堆栈,并与高折射率材料分辨率要求,包括那些用于形成复杂的设备结构和集成电路制造。雷竞技网页版

顾名思义,多角度反射计可以同时收集反射数据从多个角度来克服单角反射器的限制(例如,噪音,不连贯等)。这样做,FilmTek多角度反射计系统提供最佳折射率分辨率,实现100 x的折射率分辨率可比非接触式方法和10倍,最好的棱镜耦合器接触系统。

FilmTek的独特和专有的多角度反射计/椭圆对称系统提供一流的膜厚度和指数的准确性和可重复性,使用户能够推动这两种技术的极限来解决索引和超薄的厚度厚电影和明确地描述整个多层堆栈。FilmTek系统是许多前沿应用程序的首选解决方案,包括光电的开发和生产,相位敏感的设备和相变材料,特种设备,硅和硅光子学,前端和服务器制造。雷竞技网页版