弹性计和反射计

反射资源库

特征产品技术

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Multi-Angle Reflectometry/Ellipsometry Systems

行业领先测量性能挑战超丁薄膜多层比其他非接触法强100x性能

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频谱反射法

快速薄膜厚度和常量测量完全适合现场生产质量评估,特别是开发和生产环境中的厚薄膜和半导体瓦

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可见光线度量

高敏感可重复测量单层薄膜和小多层结构,甚至在比单原子层厚小层上也能定性厚度和光学特性

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Reflection-Transmission Spectrophotometry

完全集成系统综合反射传输和可选等量和对称数据测量沉入透明子串的胶片

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薄度和RI半量度

稀薄专用薄膜系统瓦斐和CD计量系统,旨在满足用传统设备无法测量的要求